平面度检查仪采用掠入射光干涉原理，专注于高精密加工表面平面度快速测量评估，广泛应用于航空航天，汽车工业喷油嘴行业，泵、阀门密封件表面，以及光学工程，激光工程等领域。
机械平面度的测量方法有使用表面轮廓仪、准直仪、高度表、三坐标测量机等设备来进行的，这些设备在测量平面度时，往往只能放映局部的偏差；而且测量工作烦琐，设备的投入成本高，对操作人员的经验和知识也要求较高。
对平面度检测的要求很高，使用前要测量平面度是否达到国家的标准，检测合格后才能够投入使用，一般的检测方法有以下三种：
1.计算法
应用计算公式获得平面度误差值，该法有计算准确的优点，但需事先判准高低点，否则将造成计算错误或影响其计算准确度。用计算法获取铸铁平台对角线法原始数据的方法对角线法是以对角线平面为理想平面评定平面度的一种数据算得方法。数据处理是将水平仪或自准直仪得到的截面各点相对于该截面两端点连线的直线度偏差值折合到对角线平面上，计算出相对于理想平面偏差。当按对角线原则评定时，则取其大偏差于小偏差的代数差为所求平面度误差值；当按小条件原则评定时，则将计算出相对理想平面的偏差作为对角线法的原始数据。
2.旋转法
旋转法是将测基面经过适当变换（旋转或平移），使测量基面和评定基面重合，获得符合小条件的位置，通过测量数据的交换获取平面度误差。该法不需使用绘图或计算工具，有简便易行的优点，具体操作时常需做多次旋转，对不熟练者效率不高。但该法是基本的方法，只要掌握旋转要领，终必能达到目的。
3.图解法
图解法是一种几何作图求解法。它是以各测点的测量值按比例在进角坐标系上描点，用作图方式从坐标图上量取平面度偏差值。它有简单、直观的优点，但该法需用坐标纸准确作图，且有作图误差，适合现场使用。
