一、简介
平面度检查仪是一种用于检测平面度的精密测量仪器，广泛应用于航空航天、机械、汽车、电子、化工等各个领域中，是现代工业生产中的检测设备之一。
平面度是指测量平面与正常方向的偏离程度，它是表征一个平面表面平整度和平面面积大小的物理量。一般来说，平面度要求越高，制造成本就越高，因为需要采用更加精细的加工工艺和更高精度的机床设备。因此，对于一些高精度零部件的生产，平面度的检测就显得尤为重要。
二、原理
平面度检查仪的检测原理基于激光干涉仪测量原理。
光束从光源出发，经过聚光透镜在被测物体表面形成一束平行光。光波经该光路中光学元件后形成两股波，透过被测平面后再聚焦，光波再次干涉并聚集于检测器上。检测器检测光强度差值，进而计算出光程差和被测平面的表面形态。
三、技术指标
1、分辨率
以光束的直径为单位，表示平面度检查仪上显示的数字精度。
2、重复性
重复性指同一被测物测量多次得到的结果间的接近程度。
3、线性度
线性度指检测仪在一定的测量范围内输出值与被测值之间的偏差程度。
4、稳定性
稳定性表示检测仪在不同温度、湿度、震动等条件下，输出值变化的程度。
5、测量范围
测量范围指测量仪器能够检测的被测平面的大小范围。
四、应用领域及维护保养
1、应用领域
平面度检查仪广泛应用于航空航天、机械、汽车、电子、化工等各个领域中，主要用于检测高精度零部件的平面度。
2、维护保养
（1）平面度检查仪不得强震或撞击，避免造成损坏。
（2）检查仪器各部件的接头、固定螺丝是否松动或损坏，及时处理。
（3）避免高温、潮湿、腐蚀等情况，存放前需做好防护工作，并定期检查仪器的存放环境。
（4）使用前要注意校准，确保检测精度。
（5）使用完毕后，应将检测仪器清洁干净并保存在干燥、防尘的地方。
